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扫描电子显微镜的主要特点

扫描电子显微镜的主要特点

1、  可以观察直径为0-30mm的大块试样(在半导体工业可以观察更大直径),制样方法简单。

2、  焦深大,图像富立体感。焦深相当于光学显微镜的三百倍,适用于粗糙表面和断口的分析观察;图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。

3、  放大倍数变化范围大,且不用经常对焦。一般为15-200000倍,对于多相、多组成的非均匀材料便于低倍下的普查和高倍下的观察分析。

4、  具有相当高的分辨率,一般为3.5-6nm

5、  可以通过电子学方法有效地控制和改善图像的质量,如通过调制可改善图像反差的宽容度,使图像各部分亮暗适中。采用双放大倍数装置或图像选择器,可在荧光屏上同时观察不同放大倍数的图像或不同形式的图像。

6. 可进行多种功能的分析。与X射线谱仪配接,可在观察形貌的同时进行微区成分分析;配有光学显微镜和单色仪等附件时,可观察阴极荧光图像和进行阴极荧光光谱分析等。

7. 可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态试验,观察在不同环境条件下的相变及形态变化等。

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